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此外,使用混入了导电性填充剂的电子导电性橡胶的导电辊,金圆柱靶,其电阻值与施加的电压有关,存在电阻值不固定的问题。---是采用碳黑作为导电性填充剂时,这些倾向更明显。

由于使用了电子导电性橡胶的导电辊,不论是采用间歇式制法还是连续---处理法,都存在电阻值不均匀的问题,所以在数字化、彩色化等提高图像的技术日新月异的今天,希望用离子导电性橡胶替代电子导电性橡胶。






平面显示器(fpd)这些年来大幅冲击以阴极射线管(crt)为主的电脑显示器及电视机市场,哪里有金圆柱靶,亦将带动ito靶材的技术与市场需求。如今的ito靶材有两种.一种是采用纳米状态的氧化铟混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用直流反应溅射制造ito薄膜,金圆柱靶,但是靶表面会氧化而影响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取方法生产ito靶材,利用l}irf反应溅射镀膜.它具有沉积速度快.且能控制膜厚,电导率高,薄膜的一致性好,与基板的附着力强等优点。

金属靶材材质分为:
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