铁岭纯金靶材-沈阳东创为本-纯金靶材谁家好

钨-钛（w-ti）膜以及以钨-钛（w-ti）为基的合金膜是高温合金膜，具有一系列的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能，w/ ti 合金具有低的电阻系数、---的热稳定性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线，例如al 、cu 和ag 等已经被广泛的应用和研究。但是布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应，铁岭纯金靶材，与介质层的粘结性差，易扩散进入si 与sio2 等器件的衬底材料中，并且在较低的温度下会形成金属与si 的化合物， 充当了杂质的角色，使器件的性能大幅度下降。

平面显示器（fpd)这些年来大幅冲击以阴极射线管(crt)为主的电脑显示器及电视机市场，亦将带动ito靶材的技术与市场需求。如今的ito靶材有两种．一种是采用纳米状态的氧化铟混合后烧结，一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用直流反应溅射制造ito薄膜，但是靶表面会氧化而影响溅射率，并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取方法生产ito靶材，利用l}irf反应溅射镀膜．它具有沉积速度快．且能控制膜厚，纯金靶材报价，电导率高，薄膜的一致性好，与基板的附着力强等优点。