金铜靶材厂-金铜靶材-沈阳东创精益---

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    2024-3-28

赵总
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在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。
















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