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各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来,有铂粒,溅射靶材及溅射技术的同步发展,---地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如,在半导体集成电路制造过程中,以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线。
在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,铂粒回收,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为ar气),铂粒厂,磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。







对圆周方向的电阻值的不均匀依然无法---。

此外,采用连续---法时,如果---时的热传递没有设法尽量达到均匀,则挤压后的---速度不一致,这样可能电阻值的不均匀程度反而大于间歇式---法。---是在圆周方向上这种倾向更---。
采用连续---法时,铂粒,在挤压机的挤压筒内的半径方向上有非常大的剪切速度分布,这可能会影响电子导电性填充剂的分散。
导电橡胶能够提供较高的打印密度。但导电橡胶的导电率是---,以致其不能对---充电至较高程度。当仅仅将由金属氧化物组成的无机填料(d)作为填料与橡胶组分(a)混合时,导电橡胶能够得到降低---的物理粘附力的效果,但是不能将---充电至较高程度,因此不能提供足够的打印密度。如上所述,在独立地将填料(b)至(d)与橡胶组分(a)混和时,必须大量使用填料。

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