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溅射靶材ito靶材的生产工艺 ito靶材的生产工艺可以分为3种:热等静压法(hip)、溅射靶材热压法(hp)和气氛烧结法。各种生产工艺及其特点简介如下:
热等静压法:ito靶材的热等静压制作过程是将粉末或预先成形的胚体,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的压力下等方加压烧结。热等静压工艺制造产品密度高、物理机械性能好,但设备投入高,生产成本高,产品的缺氧率高。







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导电橡胶能够提供较高的打印密度。但导电橡胶的导电率是---,以致其不能对---充电至较高程度。当仅仅将由金属氧化物组成的无机填料(d)作为填料与橡胶组分(a)混合时,导电橡胶能够得到降低---的物理粘附力的效果,但是不能将---充电至较高程度,因此不能提供足够的打印密度。如上所述,在独立地将填料(b)至(d)与橡胶组分(a)混和时,必须大量使用填料。

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