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什么是靶材绑定?靶材绑定的适用范围、流程?
绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。
1.压接:采用压条,一般为了提高接触的---性,会增加石墨纸、pb或in皮;
2.钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20w/cm2,2n金靶材,钎料常用in、sn、in-sn;我司采用铟焊绑定技术。
3.导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。







钨-钛(w-ti)膜以及以钨-钛(w-ti)为基的合金膜是高温合金膜,具有一系列的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能,w/ ti 合金具有低的电阻系数、---的热稳定性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线,例如al 、cu 和ag 等已经被广泛的应用和研究。但是布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应,与介质层的粘结性差,易扩散进入si 与sio2 等器件的衬底材料中,有2n金靶材,并且在较低的温度下会形成金属与si 的化合物, 充当了杂质的角色,2n金靶材,使器件的性能大幅度下降。

近年,随着图像的提高,---直径也越来越小。在微孔孔径较大的发泡辊筒中,---进入辊筒的微孔内不易去除,哪里有2n金靶材,所以存在图像混乱的问题。因此,对于使用微细---的高画质复印机和打印机用辊筒,---是---供给辊,要求更细的微孔。在制造发泡辊筒时,与间歇式方法相比,连续---处理法的优点是能够使发泡微孔的直径更小。以往的导电辊使用了不会因其中的导电性填充剂的不均匀而导---阻值不均匀的离子导电性橡胶,但是问题在于很难采用经济上及效率上都有利的连续---法进行制造。

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