纯钯靶材技术-纯钯靶材-沈阳东创精益---

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    2023-6-23

赵总
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平面显示器(fpd)这些年来大幅冲击以阴极射线管(crt)为主的电脑显示器及电视机市场,亦将带动ito靶材的技术与市场需求。如今的ito靶材有两种.一种是采用纳米状态的氧化铟混合后烧结,纯钯靶材技术,一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用直流反应溅射制造ito薄膜,但是靶表面会氧化而影响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取方法生产ito靶材,利用l}irf反应溅射镀膜.它具有沉积速度快.且能控制膜厚,电导率高,薄膜的一致性好,纯钯靶材,与基板的附着力强等优点。
















背靶材料:

无氧铜(ofc)– 目前常使用的作背靶的材料是无氧铜,因为无氧铜具有---的导电性和导热性,而且比较容易机械加工。 如果保养适当,无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。

钼(mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下,纯钯靶材加工,如需要进行高温帖合的条件下,纯钯靶材生产加工,无氧化铜容易被氧化和发生翘曲, 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配,同样也需要使用金属钼作为背靶材料。




对圆周方向的电阻值的不均匀依然无法---。



此外,采用连续---法时,如果---时的热传递没有设法尽量达到均匀,则挤压后的---速度不一致,这样可能电阻值的不均匀程度反而大于间歇式---法。---是在圆周方向上这种倾向更---。

采用连续---法时,在挤压机的挤压筒内的半径方向上有非常大的剪切速度分布,这可能会影响电子导电性填充剂的分散。



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