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---复合材料两种或多种不同种类的相容性材料用物理方法合成的具有多相结构的---材料。美国克雷德(k.g.kreider)---其特点为:(1)其组成由人为选定和设计。(2)是人工制造的而不是天然的。(3)至少含有两种独立的不同的相。(4)其性能取决于每一组成相的性能。(5)其组元具有重复的几何形状,以致在宏观上可以认为材料是均匀的。(6)具有单个组元材料不具有的优良性质。

为了减少靶材固体中的气孔,银导电辊制造,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能---地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布:通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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